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石英坩堝的變形產(chǎn)生的原因及解決途徑
上傳時間:2021年01月16日 11:27:56
現(xiàn)象:石英坩堝使用后變形
影響:
1.石英坩堝變形后,在拉晶過程中隨著堝位的上升,錦州坩堝石英坩堝變形的凸出部分將碰撞到導(dǎo)流筒,影響或無法繼續(xù)正常的拉晶。
2.溶料中發(fā)生掛邊造成的石英坩堝變形,坩堝上口向內(nèi)凸出過多,當溶完料堝位上升到正常引晶位置時,已碰撞到導(dǎo)流筒,這將直接導(dǎo)致不能拉晶的嚴重后果。
3 溶料中發(fā)生鼓包且鼓包較大時,在拉晶過程中隨著液位的下降,錦州坩堝鼓包會漸漸露出液面,這時已經(jīng)拉出的晶棒會碰擦鼓包,如不及時停爐會發(fā)生晶棒跌落的嚴重事故。
可能的原因:
1.裝料方法不當。在液位線上的料與石英坩堝的接觸呈面接觸狀態(tài),這在熔料過程中容易發(fā)生掛邊導(dǎo)致坩堝變形。坩堝最上部全部裝了碎小細料,這在熔料時易發(fā)生下部已溶完,上部呈結(jié)晶狀態(tài)而造成坩堝變形。
2.熔料方法不當。
3.溫度過高。由于硅熔點為1420℃,一般的熔料溫度在1550~1600℃左右,錦州坩堝如果熔料溫度過高,在熔料過程中極易發(fā)生變形。
4.溫度過低。當熔料料溫度偏低時,坩堝上部的料與堝壁接觸處易發(fā)生似熔非熔的狀態(tài),當下部料熔完上部已掛邊的塊料將石英坩堝下拉二發(fā)生變形。
5.原料質(zhì)量參差不齊,齊所含雜質(zhì)遠高于原始多晶,酸洗工藝不盡完善,這對坩堝的正常使用影響也非常大,主要表現(xiàn)在容易發(fā)生嚴重析晶。
6.石英本身存在質(zhì)量問題。石英坩堝在生產(chǎn),清洗,包裝中受到沾污發(fā)生析晶(包括液位線以上的部分)這樣石英坩堝原有的厚度會減薄,強度也隨之下降,容易發(fā)生變形。
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